用于碳化硅晶体生长的多孔碳化钽材料制造理论研究

张逊熙, 曹洪涛, 赵正星, 范金桃

信息记录材料 . 2025, (01): 1 -5 . DOI: 10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2025.01.074