用于碳化硅晶体生长的多孔碳化钽材料制造理论研究
张逊熙, 曹洪涛, 赵正星, 范金桃
碳化钽(TaC) / 多孔TaC / 碳化硅(SiC)长晶
TQ135.13 / O782 / TQ163.4
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