以硅酸四乙酯（tetraethyl orthosilicate, TEOS）和十六烷基三甲氧基硅烷（hexadecyltrimethoxysilane, HDTMS）为原料，采用溶胶-凝胶法制备HDTMS改性SiO₂超疏水涂层，对其表面微观结构、化学元素组成与结构等进行表征，并对其疏水性能、自清洁性能、热稳定性及可重复利用性能进行评估。结果显示：随着HDTMS与TEOS物质的量比的增加，涂层表面的接触角先增大后减小。当HDTMS与TEOS物质的量比为0.12时，涂层表面的接触角为153°±0.5°,滚动角为1.3°±0.5°,具有最佳的疏水性能，且具有较好的防污特性与自清洁性能、20～100℃温度内，其表面的润湿性能几乎不受影响，稳定性良好，且具备可重复利用优势。综上，本研究制备的HDTMS改性SiO₂超疏水涂层性能优异，具有较大的实际应用潜力。