采用放电等离子烧结技术（SPS）制备了AlCrTiMoTa_x（x=0.25, 0.5, 0.75, 1）五元难熔高熵合金，通过XRD、SEM和EDS等手段表征了该体系合金的组织结构，并重点考察了其高温抗氧化性能．结果表明：Ta含量与合金的组织结构和抗氧化性能有极大的相关性，随着Ta含量的升高，合金的物相由BCC单相结构转变为多相结构，抗氧化性能逐渐增强．AlCrTiMoTa_x合金的氧化层均由TiO₂、Al₂O₃、Cr₂O₃和CrTaO₄组成，氧化层中的CrTaO₄的相对含量与合金的抗氧化性能呈正相关．x=0.75和1时，合金表面能够形成致密的CrTaO₄层，并且具有优异的抗氧化性能．