一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器

一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器

李浩霖, 杨清瑞, 原毅, 刘伯华, 孙崇玲, 张孟伦

Journal of Tianjin University(Science and Technology) . 2024, (12): 1322 -1330 .