针对微振动检测设备结构复杂与检测误差大的问题，提出了一种基于微球超透镜和边缘滤波器的自混合干涉仪。利用UV(Ultraviolet Curing Adhesive)胶在光纤探头尖端形成微球，当微球受到光纤的光照射时，会出现光子纳米射流现象。光子纳米射流聚焦在目标物体表面增强目标物体到微球表面的反射光。光子纳米射流产生的倏逝场对近场表面的纳米振动检测具有重要的增强和锐化作用。在传感器末端利用马赫-曾德尔边缘滤波器将幅度调制信号转换为频率调制信号，进一步增加其信噪比。实验结果表明，该方法的重构误差为27 nm,对光学器件的小型化具有重要意义。