基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计

庞权岗, 胡放荣, 张文涛, 石公含

桂林电子科技大学学报 . 2020, (06): 498 -504 . DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2020.06.008