基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计

doi:10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2020.06.008

桂林电子科技大学学报 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (06) : 498-504. DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2020.06.008

庞权岗, 胡放荣, 张文涛, 石公含

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摘要

为了给光刻机运动台控制系统架构升级提供可靠方案,设计了基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统。采用FPGA内嵌Nios Ⅱ软核,通过Quartus Ⅱ软件中的Qsys和功能平台Nios ⅡSBT实现电机驱动控制系统硬件电路和软件程序设计。内核部分采用嵌入式多核CPU实现数据并行运算,以提升控制系统的数据处理能力。实验结果表明,该控制系统能够稳定控制电机运转达到预期的驱动效果,验证了该控制系统方案的可行性。