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两种不同形式原料粉体制备的ITO靶材特性的比较研究
耿智凡, 朱归胜, 徐华蕊
桂林电子科技大学学报 . 2024, (05): 511 -518 .  DOI: 10.16725/j.1673-808X.2023111

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