MEMS压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构设计与优化

郭威, 李辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英

电子科技大学学报 . 2024, (06): 852 -861 .