MEMS压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构设计与优化

郭威, 李辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英

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电子科技大学学报 ›› 2024, Vol. 53 ›› Issue (06) : 852-861.

MEMS压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构设计与优化

  • 郭威, 李辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英
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摘要

传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁-膜-三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁结构形成应力集中区,保证压力传感器的高灵敏度。对结构进行仿真分析,建立压力膜尺寸参数与力学性能之间的数学模型,对数学模型参数进行了分析、拟合和求解,最后求解非线性约束条件下的极值,完成尺寸优化,传感器性能得到提升。结果表明:在保证传感器低非线性度的条件下,提高了压力传感器的灵敏度,具有良好的力学性能。

关键词

MEMS / 压力传感器 / 有限元仿真 / 设计与优化

中图分类号

TP212

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郭威, 李辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英. MEMS压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构设计与优化. 电子科技大学学报. 2024, 53(06): 852-861

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