MEMS压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构设计与优化
郭威, 李辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英
MEMS / 压力传感器 / 有限元仿真 / 设计与优化
TP212
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