为研究摆线齿轮磨齿加工过程中的变形规律，基于单颗磨粒磨削力的数学模型，对摆线齿轮齿槽施加单颗磨粒法向力和切向力，建立摆线齿轮磨齿加工变形有限元模型，研究磨削过程变形规律及不同的磨削速度、磨削深度及轴向进给速度对摆线齿轮的变形影响。结果表明：在磨削同一齿槽内，随着砂轮的进给，产生的变形量由大减小再增大，当砂轮刚切入齿槽时产生的变形量最大为2.29μm,当砂轮进给到齿槽1/2处时产生的变形量最小为2.01μm,当砂轮进给到即将离开齿槽时变形量逐渐上升为2.25μm。当磨削速度、磨削深度和轴向进给速度分别在50～65 m/s、20～50μm、1 500～7 500 mm/min范围内时，摆线齿轮磨齿加工变形量随磨削深度和轴向进给速度的增大而增大，随磨削速度的增大而逐渐下降，产生的最大变形量为2.29μm,最小变形量为1.04μm。