[目的]针对镍基高温合金Inconel 625电火花加工微小孔产生的重熔层缺陷，采用氢氟酸-硝酸混合液进行化学抛光试验。[方法]研究了氢氟酸与硝酸的体积比和抛光时间对试件质量损失率和孔壁粗糙度下降率的影响。分析了较优条件下化学抛光前后孔壁各部位的表面形貌、轮廓及元素成分。[结果]当氢氟酸与硝酸的体积比为1∶6时，化学抛光90 min后试件的质量损失率为0.56%，孔壁表面粗糙度下降率达到64.11%，孔壁重熔层被有效去除，表面品质显著提升。[结论]化学抛光能够有效去除镍基高温合金电火花加工微小孔的重熔层，改善孔壁表面品质，适用于复杂曲面和深孔的表面处理。