[目的]镁合金化学性质活泼，在作为医用可降解植入材料使用时，需通过适当的表面处理来提升其耐腐蚀性和生物相容性，以满足临床应用需求。[方法]在AZ31镁合金表面磁控溅射Si薄膜，通过正交试验对工艺参数进行优化。通过表面形貌和元素组成分析、电化学测试、模拟体液浸泡腐蚀、细胞毒性试验研究了较优工艺条件下所得Si薄膜的微观结构、耐蚀性和生物相容性。[结果]在压强为0.55 Pa、功率为200 W的条件下磁控溅射3 h所得Si薄膜表面均匀致密。Si薄膜能够有效地保护镁合金，并且具有较好的生物相容性。[结论]AZ31镁合金表面磁控溅射Si薄膜可提高其耐蚀性和生物相容性。