Cf/SiC陶瓷基复合材料是一种集各向异性和非均质结构为一体的典型高硬脆性难加工材料，对其进行孔径小于5 mm的微孔加工难度大，一直都是业界研究热点。采用三种小直径金刚石铣磨头进行制孔加工试验，研究铣磨头制备的方法和末端几何形状对钻进力、使用寿命、微孔缺陷及工具表面质量的影响。结果表明，取芯钎焊铣磨头所制微孔缺陷最少且使用寿命为平底电镀铣磨头的3.6倍、平底钎焊铣磨头的2倍；取芯钎焊铣磨头具有端面取芯结构，可有效减小钻进力，在工具使用寿命和工件加工表面质量上与另两种铣磨头相较也有明显提升。