基于多维优化策略的28nm节点MOSFET短沟道效应抑制研究

邱雨辰, 张乔峰, 蒋本福, 潘欣欣

信息记录材料 . 2025, (03): 42 -45 . DOI: 10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2025.03.007