X射线光电子能谱（XPS）分析过程中，X射线会引起部分样品表面发生物理化学变化，导致获得的XPS数据不能真实反馈样品表面物理化学状态。明确X射线对样品表面物理化学性质的影响和规律，是准确获取XPS数据的关键。实验选取多种具有代表性的样品，获得了连续X射线辐照下XPS分析结果，探究了X射线对样品表面物理化学状态的影响。结果表明，对于部分特殊样品X射线会产生表面物理灼伤、热分解、破坏不稳定化学键，甚至引起还原反应。该文阐述了XPS分析过程中X射线对样品表面物理化学状态影响的规律和降低X射线对分析结果影响的方法，为高效、准确获得XPS数据提供了理论支撑。