杠杆-复桥式3D压电微定位平台设计与分析
金俊杰, 王硕, 孙凤, 郝岩松, 徐方超, 张晓友
微定位平台 / 小行程 / 三自由度 / 柔性铰链 / 杠杆机构 / 复桥机构 / 有限元 / 最大误差
TH112
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