Al2O3层厚度对PbZrO3/Al2O3异质结薄膜储能性能的影响

沈阳工业大学学报 ›› 2024, Vol. 46 ›› Issue (01) : 72-76.

Al₂O₃层厚度对PbZrO₃/Al₂O₃异质结薄膜储能性能的影响

王占杰, 于海义, 邵岩, 王子权, 白宇

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摘要

为了提高Pt/PbZrO₃/Pt电介质电容器的储能密度，通过热蒸镀和自然氧化方法在Pt/Ti/SiO₂/Si基板上沉积了厚度为0～10 nm的Al₂O₃（AO）层，采用化学溶液沉积法制备PbZrO₃薄膜，研究了Al₂O₃层厚度对PbZrO₃/Al₂O₃（PZO/AO）异质结薄膜储能性能的影响。结果表明：随着AO层厚度的增加，PZO/AO异质结薄膜的击穿电场强度逐渐增大，极化-电场电滞回线由反铁电特征转变为铁电特征。当PZO/AO异质结薄膜的AO层厚度为5 nm时，储能密度最大值为21.2 J/cm³。