以湿法磷酸副产氟硅酸为原料，通过硫酸分解工艺生产无水氟化氢；以无水氟化氢生产副产SiO₂作为脱氟剂进行湿法磷酸脱氟，构建了氟硅资源产业链的循环经济模式。通过实验室实验对比研究无水氟化氢生产副产SiO₂与优质白炭黑作为脱氟剂的脱氟效果，并进行工业化参数优化及全流程产业化验证，无水氟化氢生产副产SiO₂作为脱氟剂，吨P₂O₅氟硅酸收率提高15 kg以上，成品磷酸中氟含量大幅度降低，产生直接经济效益632.63万元/a。