综述氟硅酸法制备无水氟化氢的工艺现状，详细介绍直接法、间接法等主要工艺流程，以及贵州开磷集团股份有限公司、云南云天化股份有限公司、多氟多新材料股份有限公司等企业的工艺实践；分析氟硅酸法生产无水氟化氢未来发展趋势，指出氟硅酸法无水氟化氢产能将持续增长，氟硅酸法无水氟化氢与将与低品位伴生萤石法无水氟化氢进行成本竞争，向降本方向发展。展望未来工艺研究和优化，为氟硅酸法制备无水氟化氢的工艺优化和资源综合利用提供参考。