以湿法磷酸副产氟硅酸钙和硫酸为原料，以十二烷基苯磺酸钠和乙二醇为表面活性剂制备纳米硫酸钙，反应生成的气体去生产无水氟化氢和四氟化硅产品。考察反应温度、反应时间、硫酸用量、乙二醇用量以及煅烧温度对纳米硫酸钙收率的影响。实验结果表明，制备纳米硫酸钙最佳工艺条件如下：反应温度为90℃，反应时间为90 min，硫酸与氟硅酸钙摩尔比为1.03，十二烷基苯磺酸钠、乙二醇与氟硅酸钙的质量比分别为0.01、0.02，煅烧温度为600℃。最佳工艺条件下可制得粒径90 nm、纯度99.0%～99.5%的纳米硫酸钙产品，回收氟资源的同时，有效解决了硫酸钙污染、堆放问题。