正硅酸甲酯制备的研究进展

生态产业科学与磷氟工程 ›› 2024, Vol. 39 ›› Issue (12) : 50-55.

正硅酸甲酯制备的研究进展

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国家对集成电路行业的投入引来电子级化学品的快速发展。正硅酸甲酯（TMOS）广泛应用于化工、光学玻璃、电子电气等诸多领域。介绍工业级与电子级TMOS的质量，概述工业级和电子级TMOS制备工艺研究进展，以期为电子级TMOS的制备工艺提供技术思路。

TQ264.1

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胡国涛, 黄家兴, 柳陈军, 陈广鹏. 正硅酸甲酯制备的研究进展. 生态产业科学与磷氟工程. 2024, 39(12): 50-55

电子级磷酸多级耦合纯化关键技术研究（黔科合支撑[2023]一般408）

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