高纯多聚磷酸是精细磷化工产业的重要原料及产品，可用于医药、电子材料等领域。通过监测高纯多聚磷酸生产的原料、生产过程、产品的杂质含量，研究其杂质元素足迹及净化效果。结果表明：杂质As在生产过程中被逐步固定脱除，最终脱除率可达99.98%，杂质Mg先被固定后被释放，杂质Na完全被固定脱除，杂质Fe被固定后又从生产设备引入外源Fe，杂质Pb、Cd未进入多聚磷酸生产系统；高纯多聚磷酸产品4项指标均优于食品级磷酸标准，有16项指标优于普通电子级磷酸标准。