蓝宝石衬底上AlGaN/GaN异质结的制备及性能研究

张法碧, 杨倩倩, 梁智文, 王琦

桂林电子科技大学学报 . 2022, (01): 8 -13 . DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2022.01.001