溅射功率对Ag-TiN涂层微观组织、耐磨性能影响研究

田庆庆, 徐晋勇, 李铜, 高波

桂林电子科技大学学报 . 2022, (03): 194 -198 . DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2022.03.007