工艺参数、退火温度对钽氮化物薄膜生长速率、相结构及电学性能的影响

李海鸥, 牟凯瑞, 刘兴鹏, 杨曌

桂林电子科技大学学报 . 2023, (06): 486 -492 . DOI: 10.16725/j.cnki.cn45-1351/tn.2023.06.010