新型三维集成射频模拟数字一体化微系统

张君直, 杨进, 张强, 曹雪松, 朱健

电子科技大学学报 ›› 2023, Vol. 52 ›› Issue (03) : 372-378.

新型三维集成射频模拟数字一体化微系统

  • 张君直, 杨进, 张强, 曹雪松, 朱健
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摘要

设计了一种新型三维集成射频模拟数字一体化微系统。传统的射频前端尺寸为250 mm×120 mm,经过微系统集成后尺寸仅为37 mm×37 mm,面积减小了95%。该微系统基于一体化陶瓷三维封装架构,集成多种裸芯片和无源器件,实现内部信号的电气互连;采用一种全新的散热方案,定制开发了一种高导热复合热沉盖板,热导率从15 W/(m·K)提升至150 W/(m·K)以上。在FC裸芯片和盖板之间填充导热硅胶,形成了一条新的散热途径,达到高效散热的效果。

关键词

一体化 / 微系统 / 射频模拟数字 / 三维集成

中图分类号

TN40

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张君直, 杨进, 张强, 曹雪松, 朱健. 新型三维集成射频模拟数字一体化微系统. 电子科技大学学报. 2023, 52(03): 372-378

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