基于强化学习的晶圆炉管区设备维护调度联合优化方法

周亚勤, 刘一枫, 张朋, 张洁

东华大学学报（自然科学版） . 2024, (06): 65 -74 . DOI: 10.19886/j.cnki.dhdz.2024.0135