单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响

田雨暄, 王胜利, 罗翀, 王辰伟, 孙纪元, 张国林

电镀与涂饰 . 2024, (04): 47 -55 . DOI: 10.19289/j.1004-227x.2024.04.007