磁控溅射玫瑰金靶材的刻蚀行为

袁军平, 陈令霞, 潘成强, 黄宇亨, 周翔, 林善伟, 朱佳宜

电镀与涂饰 . 2024, (06): 85 -92 . DOI: 10.19289/j.1004-227x.2024.06.011