[目的]化学抛光是高温合金化学铣切的关键步骤之一，能够去除高温合金表面的微观不平整缺陷，令其满足航空航天、石油化工等领域对零件表面高品质的要求。[方法]通过正交试验和单因素实验研究了抛光液配方和工艺参数对GH625高温合金化学抛光速率和表面粗糙度的影响。[结果]GH625高温合金化学抛光的较佳配方和工艺条件为：盐酸100 g/L，硝酸170 g/L，氢氟酸90 g/L,Fe³⁺170 g/L，温度50℃，时间5 min，试片水平放置。在该条件下化学抛光后，GH625高温合金表面变得平整均匀而富有金属光泽，表面粗糙度Ra从初始的10.3μm降至1.1μm。[结论]本文的研究结果可为GH625高温合金的化学抛光提供参考。