薄膜铌酸锂复杂波导的光刻工艺参数优化

薄膜铌酸锂复杂波导的光刻工艺参数优化

石照耀, 唐长发, 杨登才, 杨锋, 李子琰

Journal of Beijing University of Technology . 2025, (09): 1121 -1128 .